CAS:64916-48-9 |パラジウム(II)ヘキサフルオロアセチルアセトナート

CAS 64916-48-9 に対応する化合物は、有機金属化合物であるパラジウム(II) ヘキサフルオロアセチルアセトナートです。その分子式は C10H2F12O4Pd、分子量は 520.52 g/mol、化学構造にはパラジウム (II) 中心に配位した 2 つのヘキサフルオロアセチルアセトン配位子が含まれています。
パラジウム(II) ヘキサフルオロアセチルアセトネートは黄色の結晶性粉末として現れ、通常の条件下では安定ですが、強力な酸化剤との接触を避ける必要があります。金属有機前駆体として、さまざまな有機溶媒に可溶であり、半導体製造や触媒反応で一般的に使用されます。

パラジウム(II) ヘキサフルオロアセチルアセトネートは、超大規模集積デバイスにおける金属合金化を最適化するための銅化学気相成長プロセスの MOCVD (有機金属化学気相成長) 前駆体として半導体業界で使用されています。{0}{1}}さらに、酸化還元反応や金属置換反応に関与する均一系触媒としても使用できます。

パラジウム(II) ヘキサフルオロアセチルアセトネートは刺激物 (危険有害性コード Xi) であり、皮膚、目、気道に刺激を引き起こす可能性があります。具体的な危険には次のようなものがあります。
H315: 皮膚の炎症を引き起こします。
H319: 重度の眼刺激を引き起こします。
H335: 呼吸器への刺激を引き起こす可能性があります。
粉塵に直接触れたり、吸入したりしないように、作業中は保護メガネ、手袋、保護服を着用してください。火気や酸化剤から離れた、涼しく乾燥した場所に保管してください。

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